半導體工業用石墨制品材料的處理

半導體工業用石墨制品材料的處理半導體工業用石墨制品材料的處理

未使用過的石墨制品材料發熱體、保溫罩、托架和籽晶夾、石墨坩鍋等器件，因在機械加工時有石墨粉附著在石墨制品材料器件的表面或浸入石墨體氣孔中，也可能有其他雜質浸人石黑孔隙中，為了防止在使用中對半導體材料引起污染，在使用前必須進行預處理。

一種預處理方法是先將石墨器件在四氯化碳中浸泡數小時，然后用去離子水沖凈并烘干，在使用溫度下真空煅燒3~4h，再保存起來待用。另二種預處理方法是將石墨器件放在王水里浸泡24h，取出后用去離子水煮沸多次，首至溶液望中性為正。烘于后連同整套石墨器件裝在爐腔里，在真空中（一般10-mmlHg以上）進行高溫處理h，其溫度應稍高于工作溫度，冷卻后取出放人干燥瓶待用。對使用過的行題器件可愛善保管。再使用時，可先用0號金相砂紙擦去表面層，再經去離子水和無水酒精擦凈后烘干，即可使用。